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シリコンの単結晶基板に形成した3D構造上に、シングルMIMおよびマルチMIM構造を形成しています(MIM構造とは金属/誘電体/金属の積層構造)。
関連用語:シリコンキャパシタ、シリコンコンデンサ、シリコンIPD、Silicon Capacitor(Si-Cap)、Silicon IPD(Si-IPD、Integrated Passive Device)
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